杭州离子束溅射镀膜机生产厂家

杭州离子束溅射镀膜机生产厂家设备用途：
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备
结构特点：
1 靶材粒子能量高，所制备膜层更致密，与基板结合力更高
2 备有辅助离子源，可以用来清洗基板，清洗效果好；
3 易于制备熔点高的材料；
4 制备合金膜层，可以保证膜层材料比例与靶材相同；
技术指标：
1 极限真空度：5×10-5Pa；
2 考夫曼离子源：Φ30mm,0.4~1.9Kev连续可调
3 辅助离子源：Φ30mm,0.4~1.5Kev连续可调 
4 四工位转靶
5 样品台：6个工位，样品尺寸≤Φ30mm
6 真空机组：分子泵+机械泵
7 工作气路：100SCCM、50SCCM杭州离子束溅射镀膜机生产厂家